在精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、生物潔凈車間、生物學安全潔凈車間等多行業中,對生產車間的環境潔凈度有著非常嚴苛的標準,對相關指標的要求遠高于廣義上的“無塵室”。
無塵車間的標準
無塵車間的分級,不同國家和地區標準都不一樣,美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard(FS)209E1992】將無塵車間分為六級,分別是1級、10級、100 級、1000 級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5um,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10 顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75 顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在01um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
除顆粒控制外,無塵車間還需要滿足以下條件:
1、壓差:相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。萬級潔凈車間對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
2、配電:潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
3、噪聲控制
(1)動態測試時,萬級潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。
(2)靜態測試時,萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。
另外,無塵車間吊頂內的設備需要高度一定要留足,除建筑構造需要空間外還應考慮:送風、回風、排煙、電纜橋架、工藝直排、工藝純水、壓縮空氣、事故照明各類設備設施外還應考慮檢修人員的活動和操作空間需要。
無塵車間是如何建成的
無塵車間的原理,是不斷將車間內空氣抽入自帶動力的送風過濾裝置風機過濾機組,FFU英文全稱為(Fan Filter Unit),經初、高效兩級空氣過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%左右的速度均勻送出。具體過程如下:
Step.1
安裝進風系統,新風過濾箱,中央凈化空調(中央凈化空調要分為初效/中效/高效三個過濾段)末端有高效送風口。有必要時還裝有凈化增壓箱。
Step.2
安裝回風系統,回風口,過濾初效器,中效回風箱。
Step.3
進入無塵凈化車間之前先進入緩沖區,緩沖區門安裝電子互鎖,更衣處放置潔凈儲衣柜,空氣清新機。
Step.4
人和貨物進入無塵凈化車間須經過,風淋室,貨淋室,傳遞窗主要傳遞小物品。
Step.5
在無塵凈化車間內局部需要達到10-1 級地方安裝垂直層流工作臺,層流罩(FU),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。測潔凈室潔凈度用,激光塵埃粒子計數器。
大立潔凈車間解決方案
潔凈車間通常會給新風系統做定期的點檢計劃,點檢時會影響車間正常生產,為了減少點檢對生產的影響,在選擇過濾器時要求過濾器容塵量大、耐腐蝕、抗應力性強,彈性恢復性好等,在濾材的選擇上,多以玻璃纖維或人造纖維為主,外框分割物多選用鋁箔瓦楞,以延長過濾器的使用壽命。
此外,考慮實際環境中的過濾要求,例如高溫、高濕、高壓等情況,在選擇新風系統過濾設備的適合也要匹配實際工藝需求,避免出現設備更換、維修頻繁的問題。
大立為潔凈車間新風系統過濾提供多種過濾解決方案供選擇,可適配初中高效等多種潔凈車間過濾要求。
初效過濾器,結構穩固,經久耐用;初效過濾器可選用可清洗濾料,過濾器清洗后可重復使用,可選用可拆卸結構,外框和龍骨架可重復使用。
中效過濾器,通風量大;超聲波高溫熔合,氣密性更好;可選用無框式設計,外框和支撐架可重復使用,適用于中央空調系統的二級或末級過濾、高效過濾器的前級過濾等工藝中。
高效過濾器,體積小,過濾面積大,低阻高效;安裝方便,密封可靠持久,多用于制藥、醫院、食品衛生、生物制品,保健品等潔凈室末端過濾。
關于大立
杭州大立過濾設備有限公司成立于1996年,國家高新技術企業,設計和供應PES/PTFE/PVDF等折疊膜濾芯、囊式濾芯、特用材質濾芯、過濾器及過濾系統,面向全球微電子客戶提供整體過濾解決方案,助力微電子企業實現高效的過濾工藝,降低生產成本,提升生產效率。